電子|産業

技術で磨いた水で、電子産業を支える

電子産業向けのソリューションをご紹介します。

電子産業向けクリタグループのソリューション

半導体の主要な材料であるシリコンウエハや、精密機器に組み込まれるさまざまな電子部品などの製造では、その過程で回路に付着する化学物質や異物が製品の歩留まりの悪化を招きます。そのため、化学物質や異物を除去するための洗浄工程が不可欠であり、その洗浄には限りなくH₂Oに近い超純水や、超純水に薬品やガスを溶解させた機能性水を使用します。クリタグループでは、前処理装置(ろ過器など)、一次純水装置(RO膜やイオン交換樹脂塔など)、サブシステム(紫外線殺菌装置、UF膜など)を組み合わせた超純水製造装置や、機能性水製造装置を提供しています。また、製造工程から排出される有機系および無機系の排水を処理する排水処理装置や、排水を回収して再利用できる水質まで純度を高める排水回収装置、排水中のリン酸やフッ酸などを回収し再利用できるようにする、有価物回収装置なども提供しています。

半導体の製造プロセス

電子産業の課題とソリューション

01. 必要な時に必要な量の超純水を製造できる「流量可変型一次純水システム」を適用し、RO膜用送水ポンプ由来の電力使用量およびGHGの排出を削減

課題

超純水製造装置は主に、前処理装置、一次純水装置、サブシステムで構成されます。そのうち、一次純水装置は電力使用量が最も大きく、その大半は本装置に組み込まれているRO膜用送水ポンプの動力として使われています。従来の超純水製造においては、水質維持のため、使用水量に関わらず常時設計した流量で超純水を製造し、使用しなかった分の超純水は前段の一次純水装置に戻して循環させていました。使用水量が少ない時は循環が多くなることから、超純水を循環させるためのRO膜用送水ポンプの電力使用量が増加することが課題となっています。

ソリューション

クリタグループは、連続再生式電気脱イオン装置(CEDI)の脱塩室や濃縮室への通水方法に改良を加えるなどの全体最適化を図ることで、使用水量に応じた処理水量の自動調整と、使用水量が変動しても超純水の水質を維持できる、流量可変型一次純水システムを開発しました。これにより、必要な時に必要な量の超純水を製造することができるため、RO膜用送水ポンプ由来の電力使用量の削減やGHG排出削減に貢献します。

省エネルギー

GHG排出削減

02. 超純水の不純物除去性能と材料溶解抑制効果を向上させる「機能性水製造装置」を適用し、洗浄薬品の使用量削減によるコストダウンと、節水、および歩留まりの改善に貢献

課題

半導体、液晶パネルや電子部品の洗浄工程においては、多量の洗浄薬品が使用されます。近年の半導体の微細化にともない、清浄度を上げるためにますます多くの薬品が用いられています。そのため、洗浄薬品の使用量削減が課題となっています。また、最新の半導体には新たな金属材料が用いられることも多く、多量の薬品を使用する洗浄、および超純水で薬品を洗い流す洗浄の工程で、超純水による新規金属材料の溶解や表面の平滑性の低下を引き起こすことがあります。それにより、製品の歩留まりの悪化を招くおそれがあります。

ソリューション

クリタグループは、半導体製造装置の付帯ユニットとして「機能性水製造装置」を提供しています。機能性水は、超純水に微量のガスや薬品を添加しpHや酸化還元電位をコントロールすることで、不純物除去性能と材料溶解抑制効果を向上させたものです。不純物除去性能の向上により、洗浄薬品の使用量削減(資源投入量削減)によるコストダウン、超純水の使用量削減による節水を実現します。また、半導体の新規金属材料の溶解や表面の平滑性の低下を防止でき、歩留まりの改善にもつながります。

節水

資源投入削減

生産性向上

コストダウン

クリタグループウェブサイトでは、利便性の向上のためにクッキー(cookie)を使用しております。
クッキーの使用に同意いただける場合は、「同意する」ボタンを押して、引き続き、クリタグループウェブサイトをご覧ください。
詳細はWebサイトにおけるクッキー(Cookie)の利用についてをご覧ください。